Spectromètre de masse

Massenspektrometer

Mass spectrometer

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Massenspektrometeranordnung enthaltend eine Kathodenanordnung (6) zur Emission von Elektronen (21), eine Reaktionszone (3), die mit einer Eintrittsöffnung (14) für die Zuführung von Neutralteilchen (20) verbunden ist wobei diese mit der Kathodenanordnung (6) wirkverbunden ist zur Ionisierung von Neutralteilchen (20), eine lonenextraktionsanordnung (4) welche kommunizierend mit dem Wirkbereich der Reaktionszone (3) angeordnet ist, Mittel zur Führung von Ionen (22) zu einem Detektionssystem (12) und Mittel zur Evakuierung der Massenspektrometeranordnung. Hierbei enthält die Kathodenanordnung (6) eine Feldemissionskathode mit einer Emitterfläche (7), wobei in geringem Abstand zu dieser Emitterfläche (7) ein Extraktionsgitter (9) zur Extraktion von Elektronen angeordnet ist, welches die Emitterfläche (7) im wesentlichen überdeckt. Die Emitterfläche (7) umschliesst hierbei mindestens teilweise einen Hohlraum (13), derart dass eine rohrförmige Struktur ausgebildet ist.
L'invention concerne un système de spectromètre de masse qui contient un système de cathode (6) qui émet des électrons (21), une zone de réaction (3) reliée à une ouverture d'entrée (14) qui permet d'amener des particules neutres (20), cette ouverture étant reliée fonctionnellement au système de cathode (6) pour ioniser les particules neutres (20), un système (4) d'extraction d'ions qui communique avec la zone active de la zone de réaction (3), des moyens d'amenée d'ions (22) vers un système de détection (12) et des moyens de mise sous vide du système de spectromètre de masse. Le système de cathode (6) contient une cathode d'émission de champ dotée d'une surface d'émetteur (7) et une grille d'extraction (9) qui sert à extraire les électrons est disposée à petite distance de cette surface d'émetteur (7) et recouvre sensiblement la surface d'émetteur (7). La surface d'émetteur (7) entoure au moins une partie d'un espace creux (13) de manière à former une structure tubulaire.
The invention relates to a mass spectrometer arrangement comprising a cathode arrangement (6) for emitting electrons (21), a reaction zone (3) connected to an entrance opening (14) for the supply of neutral particles (20), this opening being operatively connected to the cathode arrangement (6) for ionizing neutral particles (20), an ion extraction arrangement (4) which is arranged such that it communicates with the effective range of the reaction zone (3), means for guiding ions (22) to a detection system (12) and means for evacuating the mass spectrometer arrangement. The cathode arrangement (6) comprises a field emission cathode having an emitter area (7), wherein, at a small distance from said emitter area (7), an extraction grid (9) for extracting electrons is arranged, which grid substantially covers the emitter area (7). The emitter area (7) at least partially surrounds a cavity (13) such that a tubular structure is formed.

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Patent Citations (4)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
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